TDR-JN 系列

常州江南电力光伏科技股份有限公司

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目 录
第１章 序言 ------------4

第２章 运转准备
２－１石英坩埚的放置 ----杂剂的添加
２－３ 填入多晶硅原料---------4
２－４ 籽晶的放置 -------4
２－５ 抽真空准备 ----------5
２－６ 设定值的输入 --------5

第３章 运行程序
３－１ 拉晶程序 -------5
３－１－１ 手动控制画面表示的说明 -------5
３－１－２ 自动控制画面表示的说明 ----------6
３－２ 运行程序
３－２－１ 抽真空程序 ---------7
３－２－２ 泄漏检查程序 --------8
３－２－３ 自动程序的开始 -------8
３－２－４ 化料程序 ------9
３－２－５ 稳定程序 -----10
３－２－６ 引晶程序------11
３－２－７ 放肩程序 -----12
３－２－８ 转肩程序 ------13
３－２－９ 等径程序 --------14
３－２－１０ 收尾程序 ------15
３－２－１１冷却程序 -------16
３－２－１２晶棒的卸下 ------17
３－２－１３ 清洁炉腔 ------18

第４章 其他运行程序
４－１ DIP 温度导致的回熔 -----19
４－２ 化料功率导致的回熔 -----20

石英坩埚的放置
① 戴好乳胶手套，从箱子里取出石英坩埚。

② 拿起坩埚在灯光下观察，确认无裂纹，缺口，小孔，污渍等外观不良事实。

③ 将石英坩埚放入石墨坩埚后，应注意石英坩埚边缘应与石墨坩埚边缘相平行。

操作时应注意石墨材料上无裂纹等。

掺杂剂的添加
选取与要结晶的单晶硅类型相吻合的掺杂剂种类，称取相应的重量。

② 在石英坩埚内添加掺杂剂。

不要让掺杂剂飞洒到石英坩埚外。

填入多晶硅原料
① 右手上戴上棉手套，再戴上3至5副乳胶手套。左手则戴上一副乳胶手套。

为了防止原料硅的污染、一定要用带了多层手套的手
去抓原料，用另一只手握住装原料的袋子。由于乳胶
手套容易损坏，所以一定要勤于更换。

② 将原料硅放入石英坩埚底部，逐步向上填补。

填充操作时，原料硅和石英坩埚的接触面积尽可能校
尽量避免石英坩埚与原材料硅的接触，即使有接触，也应避免面接触，而以点接触的形式补充。

要避免与石英坩埚撞击，要特别注意不能使石英坩埚
有破损和缺口,注意不能掉落原料硅在外面,万一出
现原料硅掉落在外，这些原料因为污染将不能再使用。

③ 填充操作结束后，用真空吸尘器除去粘在炉体表面、炉体法兰表面、加热器表面上的原料硅粉末。

籽晶的放置
① 戴好乳胶手套。

② 使用籽晶升降系统，下降籽晶夹和籽晶架。

③ 用酒精擦拭籽晶夹和籽晶杆。

④ 用蚀刻液（氟酸1：硝酸2）蚀刻籽晶后，再用蒸馏水洗净。