犐犆犛７１．１００．２０ 犌８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅／犜３８８６７—２０２０ 电子工业用四氯化硅 犛犻犾犻犮狅狀狋犲狋狉犪犮犺犾狅狉犻犱犲犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔 ２０２００７２１发布２０２１０２０１实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 前言 本标准按照ＧＢ／Ｔ１．１—２００９给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并归口。 本标准起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限 公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江 西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试 技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、 西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、 廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、 赵帅德、唐霞梅。 Ⅰ 犌犅／犜３８８６７—２０２０ 电子工业用四氯化硅 １范围 本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全 的要求。 本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。 ２规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 ＧＢ１９０危险货物包装标志 ＧＢ／Ｔ６０２化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 ＧＢ／Ｔ３７２３工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ／Ｔ４８４２氩 ＧＢ／Ｔ５０９９钢质无缝气瓶 ＧＢ／Ｔ６０４０红外光谱分析方法通则 ＧＢ／Ｔ６６８０液体化工产品采样通则 ＧＢ／Ｔ７１４４气瓶颜色标志 ＧＢ／Ｔ１１４４６．１—２０１３电子级水 ＧＢ１５２５８化学品安全标签编写规定 ＧＢ／Ｔ１６８０４气瓶警示标签 ＧＢ／Ｔ２８７２６气体分析氦离子化气相色谱法 ＧＢ／Ｔ３２５６６不锈钢焊接气瓶 ＧＢ／Ｔ３４９７２电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法 ＴＳＧ Ｒ０００６气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例（２００２年１月２６日中华人民共和国国务院令第３４４号公布，２０１１年２月 １６日国务院第１４４次常务会议修订通过） 特种设备安全监察条例（２００９版，中华人民共和国国务院令第５４９号） ３技术要求 四氯化硅的技术要求应符合表１的规定，光纤用四氯化硅还应增加相对透过率的要求，相对透过率 的要求应符合表２的规定。 １ 犌犅／犜３８８６７—２０２０ 表１技术要求 项目光纤用半导体用 四氯化硅（ＳｉＣｌ４）纯度（体积分数）／１０－２ ≥９９．９ ≥９９．９９ 三氯氢硅（ＳｉＨＣｌ３）含量（体积分数）／１０－６ ≤４００ ≤２５ 二氯硅烷（ＳｉＨ２Ｃｌ２）含量（体积分数）／１０－６ ≤４００ ≤２５ 甲基二氯硅烷（ＳｉＣｌ２ＣＨ４）含量（体积分数）／１０－６ ≤２００ ≤５０ 金属元素及 其他元素含量 （硼＋铝）（Ｂ＋Ａｌ）含量／（μｇ／ｋｇ） — ≤０．１０ （磷＋砷）（Ｐ＋Ａｓ）含量／（μｇ／ｋｇ） — ≤０．３０ 镓（Ｇａ）含量／（μｇ／ｋｇ） — ≤０．５０ 锑（Ｓｂ）含量／（μｇ／ｋｇ） — ≤０．５０ 铟（Ｉｎ）含量／（μｇ／ｋｇ） — ≤０．５０ 钙（Ｃａ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 铬（Ｃｒ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 铁（Ｆｅ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 钾（Ｋ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 钠（Ｎａ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 镍（Ｎｉ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 钼（Ｍｏ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 锰（Ｍｎ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 铜（Ｃｕ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 镉（Ｃｄ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 钴（Ｃｏ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 锌（Ｚｎ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 钒（Ｖ）含量／（μｇ／ｋｇ） ≤１．００ ≤０．５０ 表２相对透过率技术要求 红外吸收峰位置／ｃｍ－１ 对应的物质或官能团相对透过率／％ ３６６６±４ ＳｉＣｌ３ＯＨ ≥９８ ３１００～３０２０ 芳香ＣＨ ≥９９ ２９７０～２９２５ 脂肪族ＣＨ ≥９８ ２８６０～２８３０ ＨＣｌ ≥９８ ２３３８±４ ＣＯ２ ≥９８ ２２９５±４ Ｓｉ（ＮＣＯ）４ ≥９８ ２２５７±４ ＳｉＨＣｌ３ ≥９８ ２０２３±４ Ｓｉ（ＣＨ３）Ｃｌ３ ≥９８ １５４０±４ Ｓｉ２ＯＣｌ６ ≥９８ ２ 犌犅／犜３８８６７—２０２０ ４检验规则 ４．１抽样和判定 四氯化硅产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合第３章技术要求时，则判该 产品不合格。 ４．２采样 ４．２．１四氯化硅采样安全应符合ＧＢ／Ｔ６６８０、ＧＢ／Ｔ３７２３中的相关规定。 ４．２．２测定四氯化硅中的杂质含量时，应液相取样，取样方法参见附录Ａ。 ４．３尾气处理 测定四氯化硅中的杂质含量时，应有四氯化硅尾气处理措施，以防止四氯化硅对环境的污染。 ５试验方法 ５．１四氯化硅的含量 四氯化硅纯度以体积分数表示，按式（１）计算： ＝１００－ （１ ＋２ ＋３）×１０－４ ……………………（１ ） 式中： ———四氯化硅纯度（体积分数），１０－２； １ ———三氯氢硅含量（体积分数），１０－６； ２ ———二氯硅烷含量（体积分数），１０－６