社外秘 (○○○○电器) 工厂防静电对策手册集 第2版 ○○○○电器株式会社 品质本部 前 言 防静电对策一般被称之为“蚀金虫”，这是由于为了防静电所投入的 费用不能立竿见影的见到效果的缘故。 同时，这也是各事业部防静电对策担当者最头痛的问题。从另一个方 面来讲，一旦怠慢了防静电对策发生半导体不良的话，就将面临全数倾向 性问题的危险。 在工程上若能发现已完全破坏掉的半导体当然是万幸，最害怕的就是， 使用已半破坏掉的半导体的产品通过了工程检查，不久之后却在市场上因 机能不良而被返品的情况。如果出现这种状况，到底是只有那一台呢，还 是只是那一LOT，抑或是投产后全数不良呢，这是很难判定的。 可是，根据美国ＥＳＤ的调查结果，只１９８４年一年因静电就损失 了2兆日元。虽说由于气候、风土各不相同不能一概而论，但因静电所造 的影响危害却是全世界共同面临的课题。 值得庆幸的是时至今日，我们公司通过诸前辈的努力已避免了产生更 多的损失。但是，像DVD的ホログラムユニット等，对静电耐压只有10V 的静电开始使用敏感装置。到目前为止的防静电对策无法解决的部分也日 渐显现，这是不可争的事实。 今年在此背景下，各事业部担当人员偕同品质管理中心事务局共同对 目前对策的有效性进行了检讨，并通过静电对策厂商举行的学习会，再次 对○○○○的防静电对策进行了讨论研究。 本手册集正是此次讨论成果的总结。 本集若能对各事业部的防静电对策基准进行一个补充，并且对九州松 下电器及整个社会能起到共荣作用的话，将是我们莫大的荣幸。 1999年3月1日 第１版 目 次 第１章 何为静电? 1.1 静电的发生与带电 1.2 各种静电带电现象 (1) 摩擦带电 …… １ …… １ …… １ …… ２ (2) 剥离带电 (3) 诱导带电 1.3 因静电产生的危害 (1) 对人体的电击 (2) 生产危害 …… ２ …… ２ 1.4 导体与绝缘体 (1) 何为导体 …… ３ …… ３ …… ３ (2) 何为绝缘体 (3) 导电性基准 (4) 全身的静电发生源 …… ３ ① 丝 ② 镀层加工产品 ③ 合成纤维 (5) 半导体的静电耐压 …… ４ (6) 人体的带电 …… ４ 第２章 工厂的防静电对策 2.1 防静电对策的基本 (1) 工厂环境…… ５ (2) 作业环境…… ５ (3)作业者…… ５ (4) 部品收纳…… ５ (5) 设备?治具…… ６ (6) 除电器…… ６ (7) 测定…… ６ …… ５ …… ５ …… ５ …… ５ …… ６ …… ６ …… ６ …… ６ …… ７～ (8) 管理…… ６ 2.2 个别静电对策 第３章 附录 防静电对策检查表 …… ８，９ …… １０ …… １１ …… １２ …… １３ 防静电对策相关规格 静电相关引用规格?参考文献 防静电对策厂商一览表 防静电对策手册规格值一览表 １９９８年度防静电对策委员名单 …… １４ 第1章 何为静电? 1.1 静电的发生与带电 所谓静电，主要是指伴随两个物体的接触和分离等力学运动，本来是中性的物体， 呈现往正或负某一方偏移的状态的电荷。 另外，已产生的静电在物体上蓄积称之为静电带电。 1.2 各种静电带电现象 静电带电现象有多种，这里主要指有代表性的摩擦带电、剥离带电及诱导带电。 其他如流动带电、搅拌带电、滴下带电、粉碎带电、冻结带电等在此省略。 (1)摩擦带电 两物体摩擦产生静电。特别是绝缘体之间更容易产生静电并很难除掉。 另外，摩擦带电按以下的带电序列呈现正或负带电的倾向性表示。 （+） 带电列（带电倾向） 人 （-） 毛 发 · 皮 毛 聚 四 人 硝 氯 聚 丙 聚 丙聚 乙 石 棉 玻 云羊尼 造绢 木木 的 铅 纸胶木铁 铜橡 纤 化硅氟 璃 母毛龙 纤 维 棉 材皮 肤 胶 烯酯烯 烯 象 乙 乙 牙 烯 烯 注：比如，用硝纤象牙摩擦绢时，绢可带上“＋”电，但绢与玻璃摩擦时，却带上“－”电。 另外，带电列两端的物质，比如说玻璃和聚四氟乙烯相摩擦可以产生很大的电量。 (2)剥离带电 在剥离密切贴附的物体时会产生静电。物质间相互传送电荷并按照带电列极性带上电荷。 一般情况下，高电位带电可达到数百~数千Ｖ。 ①平衡状态 ②接触(离子移动) ③形成电气二重层 ④因剥离带电 因此在工程上进行撕膜作业时，一定要考虑到剥离可能引起的带电情况，并加以对策。 －1－ (3)诱导带电 带电物体附近有绝缘导体时，受静电诱导的电荷分布不均会导致导体带电。 ①导体A接近带电物体， 导体A就会产生诱导电荷 ③远离带