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精细金属掩模板FMM欧亿·体育（中国）有限公司研究报告 2020年 简版
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目录1 FMM概况2 FMM产业分析3目录
FMM市场分析4 FMM企业分析5 FMM欧亿·体育（中国）有限公司发展趋势
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FMM材料——简介
? 精细金属掩模板（Fine Metal Mask，简称FMM）是OLED蒸镀工艺中的消耗性
核心零部件，其主要作用是在OLED生产过程中沉积RGB有机物质并形成像素，
在需要的地方准确和精细地沉积有机物质，提高分辨率和良率。
? 分辨率越高，像素数越多，就需要更加微细和精巧的孔，在一张金属掩模板上约
有2000万个孔。
Toppan的FMM材料示意图及产品
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Source：Toppan官网
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FMM材料——材质
? FMM主要由Frame，Cover，Support，Align Stick，Finestick五个部分组成。
? 制作过程是把Cover，Support，Align Stick，Finestick以一定的方式焊接在
Frame上，这一过程称之为张网。
? 鉴于蒸镀工艺中对FMM材料的热膨胀性能有较高要求，因此每种组分的材料亦有
所不同。
FMM材料各组分的材料要求
Cover/
Suppor
Frame
Align Stick
Finestick
一般厚度及尺寸根据蒸镀
机的规格要求制作。普遍
厚度为30mm。材质采用
Invar36。由于涉及到张
网时焊接原因，Frame加
工对平坦度要求比较高，
一般要达到50μm以内
提供张网制作或者是蒸
镀机对位的基准。对材
质没有过多的要求
Finestick是FMM中最
复杂，也是技术要求最
高的部分
一般用30um~100um厚
的Invar36或SUS304。
Invar热膨胀系数小，能保
证蒸镀过程中MASK形变
小。SUS304不导磁，可
减少蒸镀过程中FMM
wrinkle 的产生
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Source：赛瑞研究整理
FMM材料——工艺
? FMM材料制作工艺主要包括蚀刻工艺，电铸工艺，蚀刻+激光复合材料以及混合
工艺。
? 蚀刻工艺，不断减薄基材的厚度，以期获得更精细的开孔。
? 电铸工艺，利用电铸工艺特点可以突破蚀刻工艺的瓶颈，开孔更精细，缺点是无
法满足特定的蒸镀角以及与Invar匹配的物理特性。
点铸工艺
蚀刻工艺
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Source：Research。。。以下略