?? 固雪 中华人民共和国国家标准 真空镀膜设备通用技术条件   ??—??给出的规则起草。 ??????墩婵斩颇ど璞竿ㄓ眉际跆跫?罚?隚?疶 ——为使用方便增加了目次； ??中真空镀膜设备的压力范围，由???～?。?修改为?“?～ ? ? ???????中镀膜室尺寸分档，增加了????、????????? ????????????党叽纾?⒍源??”号尺寸优先选用进行了调整； 档镀膜设备的极限压力、抽气时间及升压率指标； 的绝缘电阻值； 本标准负责起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司。 本标准参加起草单位：上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器  真空镀膜设备通用技术条件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本??ㄋ?械男薷牡?适用于本文件。 ??—?? ??真空技术法兰尺寸 ??机电产品包装通用技术条件 注：单位为分钟???。 升压率?? 将空载干燥的镀膜室连续抽气至稳定的最低压力后，停止抽气，在镀膜室内由于漏气或内部放气所 造成的单位时间的升压。 ?  ??设备正常工作条件 ??伤?玫缙餍枰6??；电压波动范围 ?，其频 ??????????桓?軬?疶 ??．?璞傅闹饕<际醪问?Ψ?媳?的规定。 ??．?璞傅男秃庞Ψ?螶?疶??的规定。 项次 极限压力／? ?～???癙?≤??? ≤???? ≤?? 沉积源型式、尺寸、 数量及最大耗电功率 离子轰击，工件偏压功率 膜厚监控方式及控制精度 设备控制方式