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推荐（维持） 从CMP龙头发展看欧亿·体育（中国）有限公司走向
2017年12月23日 重点关注鼎龙股份-CMP抛光垫专题报告二
上证指数 3297
欧亿·体育（中国）有限公司规模
占比%
股票家数（只） 27 0.8
总市值（亿元） 1461 0.3
流通市值（亿元） 1084 0.2
欧亿·体育（中国）有限公司指数
% 1m 6m 12m
绝对表现 -3.5 -6.5 -8.8
相对表现 0.6 -19.4 -30.3
欧亿·体育（中国）有限公司来源：贝格数据、招商证券
相关报告
1、《2016年电子化学品专题报告之
二-CMP材料(1)—市场空间稳定增
长，国产替代云开见日》2016-08-03
2、《2016年电子化学品百页专题报
告—品种繁多迷人眼、良莠不齐需精
选》2016-07-01
本篇报告分析了电子化学品中CMP材料欧亿·体育（中国）有限公司全球和中国欧亿·体育（中国）有限公司的竞争格局和市场
空间，我们认为总结龙头企业的发展历程和产品走向，对国内企业发展具有重要
的借鉴意义。随着半导体产业的蓬勃发展以及中国本土化生产的呼之欲出，中国
CMP材料欧亿·体育（中国）有限公司和公司都面临良好的发展机遇。给予欧亿·体育（中国）有限公司“推荐”的投资评级。建
议重点关注CMP材料生产上市公司鼎龙股份

垄断，占据79%的市场份额，此外还有卡博特、日本东丽、Thomas West等

国内市场上，陶氏的20英寸抛光垫占据了85%的市场份额，30英寸的市占率
则更高，其余市场份额被台湾的IVT、日本东洋Toyo和Thomas West瓜分

国内尚没有能够大规模生产集成电路抛光垫并开始批量供货的生产商，这个
市场空白亟待弥补

种类越来越丰富，技术也日趋成熟。相比之下，国内市场起步晚，技术相对
落后，若想实现赶超，应充分借鉴欧亿·体育（中国）有限公司内领先企业的发展经验，结合本土市
场特点制定战略路线。通过总结比较陶氏、卡博特等欧亿·体育（中国）有限公司龙头的发展历程，
我们总结了CMP耗材欧亿·体育（中国）有限公司发展的主要趋势：紧跟下游趋势，创新与定制化是
关键；新应用市场是公司盈利增长的主要驱动力；更长寿品和降低缺陷率是
技术重要的发展方向

2016年8月完成工程化建设进入产品试生产阶段，同步全面启动了公司国内
CMP抛光垫客户的送样及验证、评价工作，同时，公司投资建设了测试评价
实验室，并于2017年4月投入使用。目前CMP一款产品通过客户验证进入
客户供应商体系，标志着公司CMP材料取得了重要突破。我们预计公司17-19
年净利润为3.32亿元、4.34亿元和6.15亿元，对应估值分别为35倍、26
倍和19倍。本次上调公司评级至“强烈推荐-A”

姚鑫
yaoxin@cmschina
S1090516050001
周铮
zhouzheng3@cmschina
S1090515120001
孙维容
sunweirong@cmschina
S1090516110001
重点公司主要财务指标
会计年度 2015 2016 2017E 2018E 2019E
主营收入(百万元) 1050 1306 1953 2358 3119
同比增长 14% 24% 49% 21% 32%
营业利润(百万元) 208 294 405 534 763
同比增长 24% 42% 38% 32% 43%
净利润(百万元) 159240332434615
同比增长 18% 51% 38% 31% 42%
每股收益(元) 0.350.490.350.450.64
PE 34.224.735.226.919.0
PB 4.12.64.84.23.6
欧亿·体育（中国）有限公司来源：公司数据、招商证券
-20
-101030
Dec/16Apr/17Aug/17Nov/17
(%)化工新材料沪深300
欧亿·体育（中国）有限公司研究
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正文目录
一、从龙头发展看欧亿·体育（中国）有限公司走向 ...... 3
1、CMP抛光垫极高的技术壁垒使得竞争格局为寡头垄断 ....... 3
2、CMP抛光垫领头羊：紧跟下游趋势，创新与定制化是关键 ........... 3
2.1 紧跟下游发展趋势，新应用市场是增长主要驱动力 ........... 4
2.2 抛光垫：更长寿命和降低缺陷率是重要发展方向 .. 5
2.3 产品多样化、定制化是必然趋势 .... 6
二、鼎龙股份：CMP领域获得重大突破 .......... 6
图表目录
图1：陶氏垄断全球CMP抛光垫市场 .. 3
图2：200mm&300mm抛光液利润占比 ........... 4
图3：200mm&300mm抛光垫利润占比 ........... 4
图4：CMP耗材在不同应用领域的利润情况 .... 4
图5：抛光液在不同应用中的利润比例（2015） ......... 4
图6：新产品具有更优的平坦化效果 .... 5
图7：新产品具有更低的缺陷率5
图8：CMP抛光效果是多重因素的综合协同作用 ........ 6
图9：卡博特针对不同制程与对象的产品种类 .. 6
图10：化工新材料欧亿·体育（中国）有限公司历史PEBand.... 8
图11：化工新材料欧亿·体育（中国）有限公司历史PBBand .... 8
表1：陶氏的几种抛光垫品牌推出时间与改进效果 ...... 5
表2：陶氏三种抛光垫品牌参数对比 .... 5
附：财务预测表9
欧亿·体育（中国）有限公司研究
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一、从龙头发展看欧亿·体育（中国）有限公司走向
1、CMP抛光垫极高的技术壁垒使得竞争格局为寡头垄断
抛光垫具有技术壁垒高、认证时间长的特点，一直以来处于寡头垄断状态。一方面，抛
光垫的研发和生产在不断革新，在沟槽设计、使用寿命等方面不断改良，具有较高的技
术壁垒；另一方面，对于晶圆厂商来说，稳定生产非常重要，测试新产品的流程复杂，
一般需要一年半甚至两年的时间才能完成一种新产品的认证。因此，欧亿·体育（中国）有限公司巨头一般具有
比较稳定的下游客户，容易形成市场垄断

目前抛光垫的全球供给由陶氏公司垄断，占据79%的市场份额，此外还有卡博特、日
本东丽、Thomas West等。抛光液方面的市场竞争则相对激烈，欧亿·体育（中国）有限公司龙头卡博特的市
场份额在36%左右，另外日本Hitachi、FujiFilm、Fujimi和陶氏也占据一定的市场份额

图1：陶氏垄断全球CMP抛光垫市场
欧亿·体育（中国）有限公司来源：DOW、招商证券
国产高端抛光垫市占率几乎为零，专利壁垒是市场突破的难点所在。中国市场上，陶氏
的20英寸抛光垫占据了85%的市场份额，30英寸的市占率则更高，其余市场份额被
台湾的IVT、日本东洋Toyo和Thomas West瓜分。国内企业没有能够生产集成电路的
抛光垫，这个市场空白亟待弥补

然而，由于目前开窗口的抛光垫（主要应用在300mm晶圆）专利被美国应用材料公司
占有，中国只有陶氏获得授权，因此国内企业若想生产这种抛光垫，则需要向陶氏购买
专利。国内厂商可先从无窗口的200mm抛光垫入手，依靠成本优势抢占初级市场，再
逐步扩大产品类型和应用范围，追赶欧亿·体育（中国）有限公司龙头

2、CMP抛光垫领头羊：紧跟下游趋势，创新与定制化是关键
CMP耗材欧亿·体育（中国）有限公司在国外经历了30余年的发展，产品种类越来越丰富，技术也日趋成熟

相比之下，国内市场起步晚，技术相对落后，若想实现赶超，应充分借鉴欧亿·体育（中国）有限公司内领先企
业的发展经验，结合本土市场特点制定战略路线。通过总结比较陶氏、卡博特等欧亿·体育（中国）有限公司龙
头的发展历程，我们总结了CMP耗材欧亿·体育（中国）有限公司发展的主要趋势：
欧亿·体育（中国）有限公司研究
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2.1 紧跟下游发展趋势，新应用市场是增长主要驱动力
CMP技术发展与IC产业发展具有高度协同性。CMP作为集成电路产业的一个重要环
节，其技术和市场发展均受到下游应用演化的驱动。因此，同集成电路发展一直追赶摩
尔定律一样，CMP耗材的技术演化速度也非常可观

从不同尺寸的晶圆应用利润占比的角度看：2014年以前，200mm晶圆用的抛光液和抛
光垫利润均在50%以上；2014年之后，300mm晶圆用的耗材利润就超过了200mm晶
圆，成为了耗材的利润主要来源。根据Techcet的预测，未来随着300mm晶圆市场的
进一步扩张，300mm晶圆所用耗材的市场占比还将继续增加

图2：200mm&300mm抛光液利润占比图3：200mm&300mm抛光垫利润占比
欧亿·体育（中国）有限公司来源：Techcet、招商证券欧亿·体育（中国）有限公司来源：Techcet、招商证券
从不同CMP应用环节贡献的利润比例看：传统的针对钨、氧化物层的抛光对耗材贡献
的利润比例有所下降，主要的增长动力来自于Cu 和Cu阻挡层的CMP，选择性浅沟
槽隔离技术（S-STI）贡献的利润也有所增加。究其原因，一方面是因为随着更高制程
芯片的发展，铜导线的应用比例增加，Cu CMP的应用比例也相应增加；另一方面，应
用Cu导线的更高制程所需CMP次数也更多，耗材的综合利润率也更高

因此，若想在欧亿·体育（中国）有限公司内保持持续领先地位，则需要及时把握下游应用欧亿·体育（中国）有限公司发展趋势，并针
对性地进行产品的设计研发

图4：CMP耗材在不同应用领域的利润情况图5：抛光液在不同应用中的利润比例（2015）
欧亿·体育（中国）有限公司来源：Techcet、招商证券欧亿·体育（中国）有限公司来源：Techcet、招商证券
欧亿·体育（中国）有限公司研究
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2.2 抛光垫：更长寿命和降低缺陷率是重要发展方向
抛光垫的两项主要技术指标是寿命和缺陷率。使用寿命决定了晶圆生产的稳定性，因为
耗材需要定期更换，而间歇性生产会影响晶圆厂稳定的生产效率，所以希望寿命越长越
好；缺陷率在纳米制程的晶圆生产中极为重要，组件越小缺陷的重要性越被放大，因此
如何在大尺寸、高阶制程晶圆抛光过程中降低缺陷率是抛光垫客户非常重视的

回顾欧亿·体育（中国）有限公司龙头陶氏的发展历程，其一直致力于更长寿命、更低缺陷率的产品革新。陶氏
最早生产的IC1000产品已经成为欧亿·体育（中国）有限公司标准，之后生产的抛光垫均以IC1000为对标基
础进行测试对比。陶氏每1~3年就会推出一种或几种新产品，或针对不同的制程应用，
或不同程度的在寿命和缺陷率上进行了改进。以先后上市的IC1000、VISIONPAD6000、
IKONIC3040M三种产品为例进行比较，VISIONPAD6000和IKONIC3040M相比
IC1000缺陷率分别降低了60%和90%，平坦化效果也有大幅提升

表1：陶氏的几种抛光垫品牌推出时间与改进效果
品牌 推出时
间
主要优势
IC1000 AT低缺陷
率
2007 在200及300mm平台作业时最高可降低50％的缺陷率
IC1000 AT长寿命 2007 延长30％的使用寿命
VISIONPAD5200 2010 将W，中联部和铜制程的移除率提高10％至30％，W和
铜的制程缺陷率降低10％至20％
VISIONPAD6000 2010 刮痕缺陷降低了50％至60％，碟形缺陷降低了35％
IKONIC4000 2014 面向铈基应用，缺陷率降低70%
欧亿·体育（中国）有限公司来源：网站新闻、招商证券整理
表2：陶氏三种抛光垫品牌参数对比
品牌 密度 g/cm3 ShoreD 硬度<