基于气浮支承引线键合定位平台设计 指导教师：卢志伟 班级：08机械2班 学生：赵魁 学号：08102080222 选题系统的背景及意义 随着技术的进步和相关欧亿·体育（中国）有限公司的发展，高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进一步发展的瓶颈。由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也小，热稳定性好；使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比，它不污染环境 论文的结构和主要内容 本论文的主要内容是设计定位平台的设计。定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计；对引线键合定位平台X、Y两运动导轨的相互运动方式进行设计；对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计；对引线键合定位平台驱动装置、传动装置、供气装置、测量等装置进行设计 设计分析 定位平台机械部分方案确定 传动：滚珠丝杠螺母副 支撑：双推-简支式 滑动导轨 伺服电机：步进电动机 采用滚珠丝杠螺母副，可实现旋转运动与直线运动相互转换，在具有螺旋槽的丝杠螺母中装有滚珠作为中间传动元件，以减少摩擦。优点是摩擦系数小，传动效率高，灵敏度高，传动平稳，不易产生滑行，传动精度和定位精度高；磨损小，使用寿命长，精度保持性好。双推-简支式支撑减少丝杠热变形的影响。 空气静压导轨的方案设计 重力封闭式导轨 优点：这种形式的导轨用工作台的质量和空气静压保持平衡，以维护导轨的固定间隙。其结构较简单，零件的高精度也容易实现。 缺点：支承刚性低，故多用于载荷变化范围不大的设备上 重量封闭式导轨 空气静压导轨副是由气垫和承导面组成的。从气源送来的清洁、干燥、恒压的空气流经节流器进入气腔并沿封气面向外流出，在封气面上形成具有承载能力的气膜。气腔与封气面处气膜的承载能力之和将气垫及与之相连的工作台浮起。工作中承载能力与载荷处于平衡状态，气膜厚度保持不变，从而实现气体摩擦。当载荷变化时，气膜的厚度随载荷增大而减小，气膜一方面起承载作用，另一方面也起着润滑作用。 空气静压导轨的工作原理及特点 致谢 ◆大学学习生活即将结束。在此，非常感谢大学四年来所有的代课老师和我的同学们，他们在我成长过程中给予了我很大的帮助。本文能够顺利完成，要特别感谢我的导师卢志伟老师，向导师表示诚挚的感谢，并致以崇高的敬意！谢谢各位老师！ 。。。以上简介无排版格式，详细内容请下载查看